真空鍍膜設備由許多精密零件組成，這些零件是通過(guò)許多加工工藝制造的，如焊接.磨.車(chē).刨.鏜.銑削和其他工藝。由于這些工作，青島真空鍍膜設備零件的表面不可避免地會(huì )被一些加工油污染.油垢.金屬屑.焊劑.拋光膏.汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下容易揮發(fā)，從而影響設備的真空。

此外，這些機械加工帶來(lái)的真空污染物吸收大量氣體在大氣壓環(huán)境中，在真空狀態(tài)下，這些原始吸附的氣體將再次釋放，成為限制真空系統真空的主要因素。為此，污染物必須在真空涂層機組裝前清除。

在使用真空設備的過(guò)程中，其部件也會(huì )受到污染。然而，這一來(lái)源的污染主要是由于使用條件造成的.造成真空泵兩個(gè)方面。

1.真空管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā)，會(huì )在陶瓷絕緣子上形成薄膜，對其絕緣強度和測量精度造成一定的損害；

2.由于高溫蒸發(fā)，真空中的電子槍燈絲表面會(huì )形成一層金屬膜；

3.由于工件濺射，離子束蝕刻設備的內壁會(huì )被飛濺物污染；

4.真空蒸發(fā)鍍膜設備的內壁會(huì )受到蒸發(fā)目標材料的污染；

5.經(jīng)常使用真空干燥系統，會(huì )被蒸發(fā)的物質(zhì)污染；

6.青島真空鍍膜設備中的擴散泵油.機械泵油是污染的主要來(lái)源，鍍膜機長(cháng)期工作后，設備內部可能會(huì )形成一層油膜。

綜上所述，設備的真空衛生涉及真空設備.真空系統.真空工藝生產(chǎn)等方面和環(huán)節涉及真空涂層設備本身和特殊真空工藝對使用條件的要求。因此，真空污染是一個(gè)值得注意的問(wèn)題，因為這些污染會(huì )影響設備的性能，應注意定期或隨時(shí)清潔。